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■操作性·功能
●射頻13.56Mhz0-300W高功率機型，發(fā)生器自動匹配，無需調節(jié)反射波，進一步增加的操作的便捷性。
●標準配備數字式皮拉尼傳感器，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
●平行平板腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔憂因為腔體材質的原因導致樣品受到污染。
■ 保護
●裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈，可實時監(jiān)測和了解機器的運轉狀態(tài)。
●裝載有過電流漏電保護開關、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等 功能。
■產品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
● 電極
● 電極和托盤結構， 樣品可得到 有效的清洗。
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC210
雅馬拓產品報價：0.00
適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機。
| 屬性 | 參數 |
| 型號 | PDC210 |
| 等離子模式 | RIE（ DP模式選配） |
| 電極構造 | 平行平板（固定） |
| 高頻輸出 | Max500W |
| 頻率 | 13.56MHz |
| 控制?顯示 | 液晶觸摸屏 |
| 反應室尺寸 | W400 x D250 x H150mm |
| 電極尺寸 | W250xD170mm |
| 反應室材質 | 鋁 |
| 反應氣體 | 2系統（Ar、O2） |
| 填充氣體 | N2或干燥空氣 |
| 反應氣體流量控制 | 聚合控制器 |
| 真空泵 | 油泵（約345L/分）標配 |
| 氣體導入口 | 反應氣體2個、填充氣體1個 |
| 外形尺寸 | W540 x D600 x H600mm |
| 重量 | 約 105kg |
| 電源 | 三相AC200V6A |
