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日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)V1000X
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)V1000X
雅馬拓產(chǎn)品報(bào)價(jià)：0.00

13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機(jī)，搭載RIE·DP 雙模式。

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺(tái)式 
 調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng) 
多種用途。 
●可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。 
●搭載高精度適配器， RF電源。 
● 根據(jù)需求規(guī)格提供 。 
特征 
●硅晶圓的灰化及蝕刻 
●基板表面污垢處理 
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理 
●半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗 
●自然氧化膜 
●界面活性處理 
●表面污染物去除
屬性 參數(shù)
等離子模式 DP/RIE
高頻電源 13.56MHz
輸出功率 Max1000 & 1500W
有效電極尺寸 W300×D300mm
電極 2段電極（獨(dú)立）
反應(yīng)氣體 聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝）
真空泵（標(biāo)配） 約1500L/min
安全裝置 門檢測開關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等

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